Zero Leakage Magnetic Drive Roots Vakuum Booster
Zero Leakage Magnetic Drive Roots Booster använder en hermetiskt tillsluten magnetisk transmission för att överföra vridmoment mellan motorn och pumpkammaren. Genom att eliminera konventionella dynamiska axeltätningar tar denna design bort den primära läckagevägen som är inneboende i vanliga mekaniska-drivförstärkare, vilket förhindrar förorening av processgas och inträngning av atmosfären.
Konstruerat som en hög-kapacitetsbooster för primära stödpumpar, optimerar detta system pumphastigheten och den ultimata vakuumprestandan över halvledar-, kemiska, metallurgi- och industriella beläggningsprocesser.
Tekniska specifikationer
Följande parametrar fungerar som baslinjen för teknisk utvärdering och modellval:
|
Parameter |
Specifikation / Urvalsgrund |
|
Pumpmekanism |
Dubbel-rotor Roots vakuumförstärkare |
|
Drive Interface |
Hermetiskt förseglad magnetisk koppling (ingen axelpenetrering) |
|
Nominell pumphastighet |
Konfigurerad till önskad driftpunkt |
|
Yttersta trycket |
Beroende på systemkonfiguration och stödpumpens prestanda |
|
Arbetstrycksområde |
Bestäms av kontinuerlig gasbelastning och boosterkonfiguration |
|
Max. Tillåtet differenstryck |
Modell-specifik; skyddas av bypassventil eller tryckvakt |
|
Läckagehastighet |
Testad med heliummasspektrometri (<= 1x10^-9 Pa·m^3/s) |
|
Flänsstandarder |
ISO-K-, CF-, DN- eller ANSI-standarder tillgängliga |
|
Kylningsmetod |
Luft-kyld eller vatten-kyld (baserat på termisk belastning) |
|
Gaskompatibilitet |
Materialanpassning baserad på korrosiv/kondenserbar gasanalys |
|
Ström & försörjning |
Standard 3-fas (380V/440V/480V, 50/60 Hz; ATEX tillval) |
Magnetisk drivteknik och läckagekontroll
Eliminering av dynamiska axeltätningar
Standard Roots boosters är beroende av dynamiska mekaniska axeltätningar, som gradvis slits ner på grund av friktion, termisk expansion och kemisk nedbrytning.
Det magnetiska drivsystemet eliminerar denna felpunkt genom att använda ett statiskt inneslutningsskal (kanister):
Vridmomentöverföring: Externa magneter driver interna magneter genom en solid, icke-magnetisk barriär utan direkt kontakt.
Hermetisk tätning: Omvandlar en dynamisk tätning till ett statiskt tätningsarrangemang, vilket eliminerar axelläckage och skyddar processens renhet.
Mätbara läckagestandarder
I hög-vakuumteknik hänvisar "noll läckage" till en strikt, mätbar acceptansstandard snarare än ett overifierat marknadsföringspåstående.
Kvalitetsgaranti: Varje enhet är fabrikstestad -under dynamiskt vakuum med hjälp av Helium Mass Spectrometer Leak Detectors (HMSLD) för att bekräfta överensstämmelse med gränser för heliumläckagehastighet3. . Testcertifikat ingår i leveransdokumentationen.
Viktiga industriella tillämpningar
Den magnetiska drivkraftförstärkaren är idealisk för tillämpningar som kräver strikt gasinneslutning, isolering av giftiga material eller ultra-rena förhållanden:
Halvledare och elektronik:PVD/CVD-avsättning, etsning, kristalldragning och waferbearbetning som involverar hög-renhet eller reaktiva gaser.
Kemisk och farmaceutisk bearbetning:Lösningsmedelsåtervinning, vakuumdestillation, termisk avgasning och aggressiv ångextraktion.
Vakuumbeläggning och metallurgi:Optisk beläggning, elektron-strålesvetsning, vakuuminduktionssmältning (VIM) och industriella värmebehandlingsugnar.
Gasåtervinning med högt-värde:Återcirkulation med sluten-slinga av sällsynta eller dyra gaser, inklusive helium (He), argon (Ar) och svavelhexafluorid (SF6).
Systemintegration och urvalsguide
Att välja den optimala Roots-boostern kräver att man utvärderar hela vakuumsystemet snarare än att enbart förlita sig på nominell pumphastighet.
Beräkna målpumphastighet:Bestäm den effektiva hastigheten baserat på total kammarvolym, nödvändig evakueringstid, processgasflöde och systemavgasning.
Matchning av stödpump:Se till att stödpumpen ger tillräcklig genomströmning för att hantera utsläppet från boostern utan att överskrida de maximala differenstryckgränserna.
Process Media Review:Identifiera frätande, giftiga, kondenserbara eller partikelformiga -gaser för att välja lämpliga rotorbeläggningar (som PTFE eller nickelplätering), gasballastkonfigurationer eller inloppsfiltreringsenheter.
Kvalitetssäkring och tillverkningsstandarder
Precisionsbearbetning:CNC-profilfräsning upprätthåller ultra-täta spelrum från rotor-till-hus, vilket optimerar volymetrisk effektivitet utan mekanisk kontakt.
Dynamisk balansering:Rotorer genomgår dynamisk balansering enligt ISO 1940 G1.0-standarder för att säkerställa låga vibrationer och lång lagerlivslängd.
Kopplingssäkerhet:Magnetiska drivenheter är termiska-spännings-testade för att säkerställa noll glid under full driftbelastning.
FAQ
F: Hur förhindrar magnetdriften att processgas kontamineras?
S: Till skillnad från traditionella Roots-boosters som använder roterande mekaniska tätningar runt axeln, överför den magnetiska drivningen vridmoment genom en solid statisk inneslutningsbarriär.
F: Kan denna booster starta vid atmosfärstryck?
S: Standard Roots boosters bör inte startas vid atmosfärstryck utan skydd, eftersom höga tryckskillnader kan orsaka överbelastning av motorn och termisk expansion av rotorerna.
F: Hur skyddas magnetdriften mot vridmomentglidning eller överbelastning?
S: Den magnetiska kopplingen är klassad över det maximala arbetsmomentkravet. Om en oväntad mekanisk låsning inträffar, kommer magnetfältet att frikopplas (glida) för att skydda de interna komponenterna och motorn från katastrofala fel.
F: Kan denna pump hantera frätande eller kondenserbara gaser?
A: Ja. För aggressiva eller kondenserbara applikationer erbjuder vi skräddarsydda hölje och rotormaterial (som rostfritt stål eller speciella ytbeläggningar som PTFE och nickelplätering).
F: Vilka tekniska data ska jag tillhandahålla när jag begär en offert?
S: För att säkerställa korrekt dimensionering, vänligen ange: måldriftstryck, nödvändig pumphastighet eller kammarvolym med målpumps-stopptid, gassammansättning, befintliga stödpumpsspecifikationer (om tillämpligt), föredragna flänsstandarder och förbrukningskrav (spänning/kylvatten).
Populära Taggar: noll läckage magnetisk drivrötter booster, Kina noll läckage magnetisk drivrött booster tillverkare, leverantörer, fabrik






