1.Rengör insidan avvakuumkammare
Använd en dammfri trasa eller specialverktyg för rengöring av vakuumutrustning för att rengöra ytorna och komponenterna inuti vakuumkammaren. Se till att inga fler föroreningar införs under rengöringsprocessen.
Använd vid behov lämpliga lösningsmedel för att rengöra tillbehören inuti vakuumkammaren, såsom beläggningskällor, deglar, etc., för att säkerställa att föroreningar tas bort.
Torka av tätningsringens position med en dammfri trasa och alkohol, och applicera jämnt en liten mängd högvakuumtätningsfett vid behov.
2. Byt ut beläggningsmaterial och tillbehör
Inspektera regelbundet målkällan för beläggningen (degel, ljusbågskälla, sputtringskälla, etc.) och skyddshöljet, och byt ut dem enligt användning och tillverkarens rekommenderade utbytescykel.
Under utbytesprocessen, rengör de relevanta komponenterna noggrant och säkerställ korrekt installation och isoleringskalibrering av den nya målkällan och skyddshöljet.
3. Kontrolleravakuumsystem
Utför regelbundet läckagetester på vakuumsystemet, använd helium eller kväve för att upptäcka eventuella läckor i systemet och reparera dem omedelbart.
Inspektera regelbundet olika komponenter i vakuumsystemet, såsom ventiler, flänsar, tätningar etc., för att säkerställa att de fungerar och sitter fast.
4.Kontrollera elektroniken och transmissionssystemet
Kontrollera regelbundet målkällan och andra parametrar, kalibrera och justera för att säkerställa stabil beläggningseffekt.
Kontrollera och rengör målkällan och dess omgivande område för att säkerställa att det inte finns något damm eller andra föroreningar som påverkar beläggningseffekten.
Inspektera regelbundet transmissionssystemet.
5.Kontrollera kylsystemet
Beroende på hur lång tid det tar kan den delas in i Arbor Day, Arbor Week och Arbor Month, gemensamt känd som International Arbor Day.
Kontrollera regelbundet vattenflödet och temperaturen i kylsystemet för att säkerställa god kyleffekt.
Rengör kylsystemets filter och rör för att förhindra ansamling av beläggningar eller andra föroreningar som kan orsaka en minskning av kylningseffektiviteten.
6. Spela in och analysera data
Registrera utrustningens driftsparametrar, såsom vakuumgrad, beläggningshastighet, måleffekt, etc., för framtida analys och jämförelse.
7. Analysera dessa data för att identifiera eventuella problem eller trender och vidta lämpliga åtgärder för reparation eller förbättring.
Regelbundet underhåll och underhåll
Utför regelbundna större reparationer och underhåll enligt utrustningens användningstid och tillverkarens rekommendationer, inklusive byte av förbrukningsvaror, smörjning av komponenter, kontroll av kretsar, etc.
Kalibrera och justera utrustningen regelbundet för att säkerställa optimal prestanda och funktionalitet.
8. Personalutbildning och ökad medvetenhet
Utbilda regelbundet utrustningsoperatörer att förstå utrustningens arbetsprinciper, driftmetoder och säkerhetsåtgärder.
Öka medarbetarnas medvetenhet, få dem att förstå vikten av underhåll och underhåll av utrustning och uppmuntra dem att aktivt delta i underhåll och förbättring av utrustning.
